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bob娱乐晶圆蚀刻全国80%电子级磷酸“兴发造”
发布时间:2022-02-01 19:17 来源:未知 点击次数:

  20名工人紧盯着电脑,监测着产线运行。“下游数十家半导体企业等着产品,产线不停工,供应不能断。0%电子级磷酸“兴发造”bob娱乐下载”越到年前,兴发集团副总工程师杨着越是忙得脚不沾地。

  厂房里正在生产的电子级磷酸,是芯片制造的重要辅助原料,主要用于半导体晶圆蚀刻,被称为磷化工“皇冠上的明珠”。过去,我国的电子级磷酸几乎全部依赖进口,曾是实现芯片国产化的“卡脖子”产品之一。

  与普通工业磷酸不同,电子级磷酸对纯度要求极高,必须避免因金属离子、颗粒物偏高,导致芯片蚀刻产生杂物,其价格是普通工业级磷酸的近三倍。

  杨着说,从芯片半成品到成品,有200多道工序,需要十余种电子级高纯湿化学品,任何一种产品都有被“卡”的风险。倘若价格、标准全都掌握在国际垄断企业手上,产业链供应安全将难以保障。

  宜昌具备得天独厚的磷矿资源优势。但要实现进口替代,首先要攻克纯度问题。对于彼时的兴发而言,最大的挑战是关键核心设备定制和关键金属离子分离难点。

  在芯片制造行业,技术更新迭代快,bob娱乐下载每18个月就迭代一次,势必要求电子级磷酸的纯度提升不断加快。经过6年研发攻关,兴发生产的电子级磷酸,纯度从2010年投产时的100ppb,提升到3ppb。

  2019年,兴发集团“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得国家科学技术进步二等奖。

  技术问题解决了,随之而来的就是量产和市场。“国产能不能抵得上进口”,是当时市场上的最大疑惑。

  另一个巨大的压力是,在芯片生产的200多道工序中,电子级磷酸蚀刻环节一旦出问题,芯片就会报废,损失巨大。

  为了拿到国内一家龙头企业的认可和订单,兴发用了两年时间,一步步通过小规模测试、中等规模测试、大规模测试,最后终于凭借过硬的自主创新,bob娱乐晶圆蚀刻全国8拿下了这笔关键订单——国产电子级磷酸上线。

  望着眼前繁忙的生bob综合体育app下载产线,杨着感慨地说,从打破垄断、实现科技自主和稳定量产,兴发用了近10年。如今,国内市场上80%以上的电子级磷酸均来自兴发,并出口海外。客户中,还不乏多家世界级芯片制造企业的身影。曾被垄断的十余种高纯湿电子化学品,已有大半实现国产。

  去年4月,兴发参与投资的湖北化学品专区开建。全部投产后将形成每年55万吨的产能,包括湿电子化学品、电子级硅材料、电子级特气等,进一步实现系列电子化学品国产化稳定供应。

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